基于多肖特基结构的波长可调无机窄带光电探测器

作者:王莉; 王全优; 王艺飞; 方昶月; 潘艳; 罗林保
来源:2023-05-25, 中国, CN202310600132.7.

摘要

本发明公开了基于多肖特基结构的波长可调无机窄带光电探测器,其是以无机半导体作为衬底,在衬底的表面设置有与衬底呈欧姆接触的欧姆电极以及与衬底呈肖特基接触的肖特基电极;通过在肖特基电极附近的衬底表面区域另外设置至少一个与衬底呈肖特基接触的肖特基结区,调控光电探测器的光谱响应范围,实现波长可调的窄带光电探测。本发明的光电探测器具有制备成本低廉、工艺简单、易于实现的特点。