摘要
在镁合金表面经注N后,通过改变Ar/N2流量比研究直流磁控溅射Ti-TiN膜对镁合金表面耐蚀性和耐磨性影响。利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段分析镀膜的表面形貌和组织结构,通过显微压痕实验测定镀膜的结合情况,通过动电位极化和摩擦磨损试验研究镀膜的耐蚀性和耐磨性。结果表明:镁合金进行溅射清洗、氮离子注入再进行磁控溅射Ti-TiN膜,可以提高镀膜的结合效果,膜表面产生Ti、TiN晶相,可有效地改善镁合金AZ31的耐磨、耐蚀性能。其中,Ar/N2流量比为11∶2时,获得的注N及直流磁控溅射Ti-TiN膜其耐磨、耐蚀性最好。
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