等离子清洗对芯片钝化膜及电性能的影响

作者：张现顺; 黄广号; 杨春燕; 袁海; 邵领会; 庞宝忠; 杨宇军; 郝沄

来源：电子工艺技术, 2021, 42(01): 42-45.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.01.012

• 等离子清洗
• 聚酰亚胺
• 钝化膜
• 电性能
• 功率老炼

研究了等离子清洗工艺对特定芯片钝化膜形貌和电性能的影响规律,结果表明:等离子清洗会造成CC4069RH芯片表面聚酰亚胺钝化膜圈状起皱现象,起皱部位的膜层略微凸起,但整个钝化膜完整连续,未出现裂纹。78L12芯片的输出电压随着等离子清洗功率和时间的增加呈现升高的趋势,在后续加热存储和功率老炼工艺后输出电压恢复正常。

• 单位
  西安微电子技术研究所