一种石英晶体谐振器及其制备和应用

作者:李海洋; 徐秀明; 赵宗保; 李昌志; 李安林; 李京华; 初建胜
来源:2007-09-26, 中国, CN200710012970.3.

摘要

本发明涉及气体传感器,具体地说是一种乙醇敏感的石英晶体谐振器 及其制备和应用,包括AT-切石英晶片、固定于石英晶片上的金电极,在 金电极和/或石英晶片外表面涂覆有离子液体薄膜。 该谐振器应用于常规的QCM传感器中,制成QCM乙醇气体传感器, 工作原理是石英晶体微天平技术,传感器的响应频率随乙醇气体在石英谐 振器敏感膜表面的吸附而导致谐振器表面质量的微量增加而降低,并且频 率降低值与乙醇气体浓度之间成线性。该气体传感器具有结构简单、体积 小、响应快速实时、灵敏度高、选择性好以及频率信号输出无需模数转换、 便于批量生产等优点,非常适于实时测定空气中乙醇气体的浓度。