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摘要
随着加工技术的进步和对空间分辨率要求的不断提高，线性波带片狭缝宽度越来越小。对于线性波带片上不同宽度的狭缝，当均匀平面波入射时，会激发一个或多个波导模，从而导致模间色散和相位差。即便是只有单模传输，由于基模的有效折射率和狭缝宽度有关，不同宽度的狭缝在出射端面处也将产生相位差。为了消除这些相位差，我们提出等宽度单模狭缝波导线性波带片，研究了其在极紫外波段的聚焦效应，并建立了相应的高斯型远场解析模型。通过有限元软件的数值模拟，我们确认了基模的高斯型模式场分布，对基模的菲涅尔衍射积分计算则进一步确认了远场解析模型的有效性。作为一个例子，我们设计了一个等宽度单模狭缝波导线性波带片，并计算了其在焦平面归一化的一维光场分布。
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