传统铂电阻温度传感器的特性稳定，具有广泛的温度测量范围，但在瞬时变化时响应速度较慢。为此论文设计了一种薄膜型铂电阻温度传感器，该传感器由内部芯片与外部陶瓷管壳组成，利用传感器电阻值随环境温度变化而变化的原理进行测温，通过COMSOL有限元仿真验证传感器内部芯片的技术原理与参数设计的可行性，并通过工艺加工出传感器样品，该样品在经过激光加热法测试后，得到该铂电阻薄膜温度传感器响应时间为6.3ms。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
