基于纳米裂纹的超高灵敏度柔性温度传感器

作者：初永志; 郭洪吉; 尹鹏和; 刘军山^*

来源：机电工程技术, 2018, 47(11): 33-59.

• 纳米裂纹
• 聚二甲基硅氧烷
• 温度传感器

利用光刻和弯曲的方法,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制作出一种带有纳米裂纹的柔性温度传感器。该传感器的平均电阻温度系数TCR高达1.4/K,比传统的温度传感器提高3个数量级。此外,还对单方向弯曲和双方向弯曲制作的温度传感器的性能进行对比分析。实验结果表明双方向弯曲制作的温度传感器具有更高的灵敏度,但测量范围较窄。

• 单位
  大连理工大学