Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3成分梯度铁电薄膜的结构及性能

作者：李建康; 姚熹

来源：复合材料学报, 2005, (06): 49-53.

DOI：10.13801/j.cnki.fhclxb.2005.06.009

• 成分梯度薄膜
• 锆钛酸铅
• 介电温谱
• 热释电系数 compositionally graded thin films
• Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3
• C-T and tgδ-T
• pyroelectric coefficient

采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜。用俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,证实其成分梯度的存在。XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变。介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象。不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出良好的铁电性质。热释电性能测试表明,梯度薄膜的热释电系数随着温度的升高逐渐增加,并且其热释电系数比每个单元的热释电系数大。

• 单位
  西安交通大学; 苏州科技大学