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摘要
新型的激光喷射钎料球键合技术具有非接触、无钎剂、热量小等优点。与普通钎焊方法相比,其具有冲击变形及瞬时凝固的特点,体现出了特有的工艺过程特征。因此,文中对工艺参数、焊盘表面粗糙度、金属化层厚度及表面元素对钎料球的润湿铺展过程进行了试验研究。结果表明,不同的激光能量调制方式对铺展率的影响不同,存在着最佳的粗糙度值使得铺展率最大,焊盘Cu层厚度的增加会降低铺展率,钎料润湿性对焊盘表面的有机物及Ni等杂质元素极为敏感。
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单位哈尔滨工业大学深圳研究生院; 哈尔滨工业大学
