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摘要
针对目前分压型氧传感器响应时间长、功耗高、精度低的问题，提出了一种分压型氧传感器加热器热处理方法，将铁铬镍加热丝固溶处理1 200℃并时效处理900℃保温12 h,获得加热性能稳定的加热器，制备一种分压型氧传感器。传感器在10～300 kPa氧气压力下，可在7 s内实现快速响应，功耗小于8 W,精度优于±0.5 kPa。结果表明：采用本文研究的加热器热处理方法的分压型传感器信号输出值与氧气压力间存在良好的线性关系，具有在较宽氧气压力范围内实现高精度、低功耗、快响应的稳定性能。
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单位中国电子科技集团公司第四十九研究所
