本文综述了类金刚石薄膜材料常用的制备工艺及其相应结构和摩擦学性能。针对该薄膜材料在应用过程中存在的热稳定性差及内应力较大两方面问题,阐述了目前应用较为广泛的解决工艺。结合DLC薄膜优异的摩擦学性能展望了其在空间固体润滑技术领域以及新能源领域广泛的应用前景。
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