利用标量衍射理论对闪耀光栅局部结构存在误差时的衍射效率进行了分析,计算了闪耀光栅局部出现占空比和闪耀角误差对衍射效率的影响。结果表明:当闪耀光栅局部占空比减小时,一级衍射光强变小,反之,一级衍射光强变大。而当加工使部分闪耀角出现误差时,一级衍射光强会随之变小。此外分析了不同误差个数和不同入射角下,占空比和闪耀角误差对闪耀光栅衍射特征的影响,当出现的误差个数增多时,会增强占空比或闪耀角误差对一级衍射光强的影响,而当占空比或闪耀角误差一定时,一级衍射光强随入射角的增大而减小。
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