一种尖锐扫描隧道显微镜针尖的制备方法

作者:王学慧; 曾红; 程协
来源:电子测试, 2020, (06): 61-62.
DOI:10.16520/j.cnki.1000-8519.2020.06.022

摘要

采用电化学刻蚀方法来制备针尖,然后通过提拉法得到与静态刻蚀相比更尖锐的针尖。本文研究了提拉速度对针尖形貌的影响,采用扫描电子显微镜(SEM)观察了针尖形貌。结果表明,当提拉速度过慢时,得到的针尖形貌与静态刻蚀相似,无明显优势;当提拉速度过快时导致钨丝尖端离开液面无法刻蚀;提拉速度为4μm/s时可以得到尖锐的针尖。

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