二氯二氢硅综合应用研究进展

作者：付绪光; 陈其国; 吕加南

来源：氯碱工业, 2019, 55(05): 29-32.

• 二氯二氢硅
• 反歧化反应
• 三氯氢硅
• 硅烷
• 多晶硅
• 氮化硅薄膜
• 二氧化硅薄膜

详述了二氯二氢硅与四氯化硅进行反歧化反应制备三氯氢硅技术的研究进展,简述了二氯二氢硅在制备多晶硅、硅烷气、多晶硅薄膜、氮化硅薄膜和二氧化硅薄膜中的应用。

• 单位
  江苏中能硅业科技发展有限公司