Al_2O_3-SiO_2纳米复合薄膜的制备及性能研究

作者：鲁凤芹; 姚兰芳; 关飞飞; 谢伏将; 岳春晓

来源：材料导报, 2008, 22(S1): 166-168+175.

• 溶胶-凝胶
• Al_2O_3-SiO_2复合膜
• 红外光谱
• 疏水性 sol-gel
• Al_2O_3-SiO_2 composite film
• infrared spectra
• hydrophobicity

以正硅酸乙酯、异丙醇铝为先驱体,甲基三乙氧基硅烷为有机硅烷,采用溶胶-凝胶旋涂方法在普通玻璃和硅片表面镀制纳米复合薄膜。通过FT-IR、VIS透射光谱的分析及薄膜表面接触角的测量,研究了Al_2O_3与SiO_2配比和热处理温度对复合薄膜的化学结构、透光率及疏水性的影响。结果表明该薄膜具有疏水、致密、透明等性能;Al_2O_3的加入未降低复合薄膜的可见光透光率,其中经400℃热处理后不同配比复合薄膜在可见光区的透光率均大于85%,且不影响复合薄膜的疏水性。

• 单位
  上海理工大学