耐低温气象压阻传感器研制

作者：张娜; 唐慧; 梁峭; 刘剑; 孙海玮

来源：传感器与微系统, 2015, 34(08): 119-130.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2015)08-0119-02

• 压阻
• TO—8
• 硅凝胶
• 传感器

介绍了一种耐低温气象传感器的制作方法,该传感器应用于航天环控系统,采用扩散硅压阻芯片、TO—8管座装配、硅凝胶封装,体积小、质量轻,对外界恶劣环境适应性强,使用温区在-5595℃。测试结果显示:该传感器常温静态、高低温性能良好,低温性能甚至比国际产品更有优越性。制作工艺步骤简单、成本低,具有很高的实用价值。

• 单位
  沈阳仪表科学研究院有限公司