快速反射镜(fast-steering mirrors,简称FSM)是一种精确控制光束方向的装置。提出用一种基于压电陶瓷驱动的FSM补偿稳瞄系统中粗级平台的残余误差的方法,可以提高系统稳定精度,同时对采用FSM的高精度稳瞄系统进行了仿真。仿真结果表明:粗级平台稳定误差为110μrad,通过FSM补偿后的系统稳定误差不大于8μrad,即采用该方法可将稳定精度提高一个数量级以上。