Mems在电力设备检测中的应用

作者：褚文超; 贾建忠; 牛佳荣

来源：电子技术与软件工程, 2022, (02): 103-106.

• Mems
• 电力设备
• 虚拟仪器

本文提出应用于Mems可靠性测试电学测量系统方案，制作单片机测量装置，完成LABVIEW程序对其控制。完成对Keithley4200SCS半导体参数分析仪的控制，为电学测量实验设计打下基础。运用温度PID控制原理解决环境控制问题，寻找出精确的电阻测量方案。讨论疲劳试验结果，疲劳实验中主测梁电阻未发生明显变化，实验中温度控制达到预期目标。