摘要

<正>晶亦精微是目前国内唯一实现8英寸化学机械抛光(CMP)设备境外批量销售的设备供应商,推出了国内首台拥有自主知识产权的8英寸CMP产线量产设备,部分客户端实现100%进口产品替代,打破国际厂商的长期垄断,填补了国产8英寸CMP设备在芯片制造生产线的运行空白。