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摘要
设计了一种Pd90Ni10薄膜电阻型氢气传感器，在Pd90Ni10薄膜表面覆盖一层保护膜以提高传感器在不同环境气体中的抗干扰性能。首先，研究了HfO2、聚四氟乙烯(PTFE)、 SiO2、 Al2O3 4种不同材料对传感器抗干扰性能的提升影响，试验发现Al2O3保护膜对提升传感器抗干扰性能的效果最佳。其次，对Al2O3保护膜的厚度进行了优化，将Pd90Ni10薄膜氢气传感器的抗干扰性能进一步提升。最后，对传感器的零点电阻稳定性、氢气响应重复性、梯度响应等性能进行测试，得到了适用于Pd90Ni10薄膜氢气传感器的保护膜优化条件，使传感器的抗干扰等性能得到了提升。
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