微米-纳米分层阵列结构减反膜的制备

作者：何鑫; 周伯川; 张耀举^*; 刘思远

来源：太阳能学报, 2021, 42(08): 146-152.

DOI：10.19912/j.0254-0096.tynxb.2019-0569

• 减反膜
• 硅太阳电池
• 转换效率
• 反射率
• 微米-纳米阵列复合结构

介绍一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料的微米-纳米分层阵列结构双重减反膜。微米阵列结构模板图案由常规的激光直写光刻机光刻而成。微米阵列结构被复制到PDMS薄膜上,对PDMS薄膜进行等离子体表面修饰处理后在微米阵列结构上形成纳米褶皱结构,从而低成本制备出微米-纳米分层阵列结构双重减反膜。测试结果显示,所制备的微米-纳米分层阵列结构的PDMS减反膜可以将高效率多晶硅太阳电池的相对效率提高4.6%以上,相对反射率减小30%以上,并使减反膜表面的水接触角提高30°以上。

• 单位
  温州大学; 电子工程学院