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摘要
为实现轴对称非球面反射镜轮廓的高精度、可溯源测量，建立了非球面测量轨迹的数学模型，提出了一种基于独立计量回路的非接触式坐标扫描测量方法。该方法采用分离式计量框架结构，有效减少了跟踪扫描模块运动对测量精度的影响；测头采用集成阵列式波片的四象限干涉测量系统，保证测头精度的同时更有利于实现复杂面形轮廓的跟踪扫描运动；设计扫描执行机构与多路激光干涉系统共基准的运动模块，实时跟踪扫描运动机构的位置信息，提高测头空间定位精度并使其测量值能溯源到“米”定义。搭建测量装置测试该方法的准确测量精度，试验结果表明，测量误差小于0.2μm，重复性精度为70 nm，测量精度达到亚微米级。
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