高峰值功率808nm垂直腔面发射激光器列阵

作者：张金胜; 刘晓莉; 崔锦江; 宁永强; 朱洪波; 张金龙; 张星; 王立军

来源：发光学报, 2014, 35(09): 1098-1103.

• 高峰值功率
• 808 nm
• 垂直腔面发射激光器
• 列阵

为了实现808 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的高功率输出,对808 nm VCSEL的分布式布拉格反射镜(DBR)结构材料进行了优化设计,分析了AlxGa1-xAs材料中Al组分对于折射率与吸收的影响,并最终确定了材料。采用非闭合环结构制备了2×2 VCSEL列阵。通过波形分析法对VCSEL列阵的功率进行了测量:在脉冲宽度为20 ns、重复频率为100 Hz、注入电流为110 A的条件下,最大峰值功率为30 W;在脉冲宽度为60 ns、重复频率为100 Hz、注入电流为30 A的条件下,最大功率为9 W。对列阵的近场和远场进行了测量,激光器垂直发散角和水平发散角半高全宽分别为16.9°和17.6°。

• 单位
  中国科学院苏州生物医学工程技术研究所; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国科学院大学; 机电工程学院; 发光学及应用国家重点实验室; 焦作大学