关于Sputtering工艺在液晶TFT生产中的应用

作者：盛大德; 王立夫; 庞华山; 章旭; 毛继禹

来源：制造业自动化, 2018, 40(07): 71-72.

• 靶材溅射
• 铟锡氧化物
• 薄膜晶体管

在液晶TFT生产领域中,Sputtering工艺得到了较好的应用,通过对Sputtering生产工艺的讲述,解析Sputtering工艺生产中各重要环节,并对Sputtering生产工艺进行探究,为生产应用提供有力帮助。

• 单位
  北京京东方显示技术有限公司