超声振动辅助模板电解加工微凹坑方法研究

作者：张西方^*; 徐文杰; 任坤; 于金涛; 杨梦杰; 周培祥; 李华

来源：现代制造工程, 2022, (06): 78-84.

DOI：10.16731/j.cnki.1671-3133.2022.06.012

• 超声振动
• 辅助模板
• 电解加工
• 微凹坑
• 加工精度

针对微细电解加工表面微织构加工精度较差等问题，提出超声振动辅助模板电解加工方法。制备具有通孔结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)绝缘模板，设计制作超声振动变幅杆结构；进行超声振动辅助模板电解加工仿真分析，开展微凹坑加工试验研究。在加工电压为12 V和加工时间为12 s条件下，辅助以纵向超声波振动频率为28 kHz及超声振幅为7μm时有：绝缘模板作用下加工的微凹坑深度为10.4μm,直径为116μm;无绝缘模板作用下加工的微凹坑深度为9.7μm,直径为126μm;无超声振动时绝缘模板作用下加工的微凹坑深度为4.1μm,直径为114μm。

• 单位
  苏州科技大学