集成式氦质谱检漏装置的研制

作者：应媛媛; 江雅娟; 宋健; 陈建军; 杨庆瑞

来源：机电产品开发与创新, 2016, 29(04): 94-95.

• 真空多层绝热管道
• 氦质谱检漏
• 集成式

真空多层绝热管道漏率是否满足要求,直接关系到管道的真空寿命。传统检漏系统包含设备多、体积大、重量大,移动困难,论文研制出一种集成式氦质谱检漏装置,适合在检漏工序不可或缺但是检漏工作量较小的现场安装环境。

• 单位
  北京航天试验技术研究所