Al化衬底对MOCVD生长AlN的影响

作者：贾辉; 崔烨; 石璐珊; 周玉宏; 欧元锦

来源：兵器材料科学与工程, 2017, 40(05): 15-19.

DOI：10.14024/j.cnki.1004-244x.20170907.009

• 衬底处理
• Al N
• 晶体质量
• 应变

采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在蓝宝石衬底上高温外延生长高温Al N外延层,着重研究Al化蓝宝石衬底的时间对样品的结构、形貌和面内应变等产生的影响。采用原位监测系统监测外延生长过程、扫描电子显微镜(SEM)表征样品的表面形貌、X线衍射(XRD)分析样品的晶体质量与残余应变。结果表明:适当的Al化衬底可以使高温Al N外延层表面更加平整,面内应变得到部分释放,但是Al化衬底会引起外延层的结晶质量变差。

• 单位
  宁波市科技信息研究院; 公安海警学院