退火对大面积CdTe多晶薄膜薄膜的影响

作者：王文武; 雷智; 郑家贵; 冯良桓; 邓懿; 蔡亚萍; 张静全; 黎兵; 武莉莉; 李卫

来源：四川大学学报(自然科学版), 2010, (01): 146-150.

• 大面积CdTe多晶薄膜
• 退火 large scale CdTe polycrystalline film
• anneal

对近空间升华法制备的大面积(30 × 40 cm~2)CdTe多晶薄膜用不同方法进行退火处理,用XRD、C～V、I～V等研究了退火条件,退火方式对薄膜结构和器件性能的影响.结果表明:刚沉积的CdTe多晶薄膜呈立方相,沿着(111)方向择优取,向而退火后(111)(220)(311)等峰都有不同程度的增加.在纯氧气氛下,400℃退火还出现了新峰.随着退火温度的增加,电导激活能降低.经过连续退火装置在400℃下退火30分钟的电池,1/C~2和V成线性关系,具有较高的掺杂浓度、较理想的二极管因子和较高的转换效率.

• 单位
  四川大学