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摘要
本发明公开了一种可调沟道宽度的金刚石可变阈值场效应晶体管,包括N型金刚石衬底、P-型金刚石外延层、P+型金刚石外延层、源电极、漏电极、栅介质层、栅电极以及背电极,其中,P-型金刚石外延层设置在N型金刚石衬底上表面；在P-型金刚石外延层上表面左右两侧分别设置P+型金刚石外延层,源电极和漏电极分别设置在左右两侧的P+型金刚石外延层上,P+型金刚石外延层分别与其上方的源电极和漏电极形成欧姆接触；栅介质层设置在P-型金刚石外延层未被P+型金刚石外延层覆盖的上表面,栅电极设置在栅介质层的上表面；背电极设置在N型金刚石衬底下表面。本发明的金刚石场效应管具有高热导率、高抗辐照性、耗尽型与增强型灵活的可选择性等优势。
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