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摘要
为探讨制备参数对直流反应溅射氧化铌涂层晶相成分与结合性能的影响规律，采用不同的氧气流量、功率和沉积时间，通过直流反应溅射技术在AZ31镁合金表面制备了氧化铌涂层。利用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对涂层进行表征，采用划痕仪测定了涂层的结合力。结果表明：当氧气流量为0.5～3.0 mL/min、功率为60～100 W、沉积时间为3～7 h时，制备参数对氧化铌涂层的晶相结构和化学价态没有影响，但是对涂层的结合性能影响显著。涂层结合力随氧气流量的增大而减小，随溅射功率和沉积时间的增加而先增大后减小。当溅射功率为80 W(W3试样)和沉积时间为300 min(T3试样)时，涂层的结合力分别为最大。
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