垂直腔面发射激光器（VCSEL）具有成本低、速率高、功耗低和易于集成等优点，在短距离数据通信等领域具有广泛的应用。随着应用需求不断增大，使用寿命和失效率要求的不断提高，激光器的可靠性受到了极大的关注。研究发现，VCSEL失效的主要原因是由于位错的产生和扩展有关。因此，本文对VCSEL内位错形成的主要原因进行了分析，并系统的介绍了位错形成后如何扩展的动态特性，从而有助于深入的了解位错在VCSEL中产生和扩展的内在机理，提高器件的可靠性。
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