以自主研制的内喷式超低温加工机床为分析对象,建立了该型号机床的整体三维模型。在充分分析机床边界条件的基础上,建立了内喷式超低温加工机床多物理场耦合的有限元分析模型。利用ANSYS进行热-流-固耦合仿真分析,得到内喷式超低温加工机床在一定转速下的温度场分布、变形以及热平衡时间等热态特性,并探究内喷液氮对机床热态特性的影响作用。结果表明内喷液氮对机床热态特性有明显的改善,得到的温度场和变形情况也为内喷式超低温加工机床的结构优化设计以及热误差补偿提供了参考。