氮离子轰击改善胶体石墨薄膜平面场发射特性的研究

作者：王玮玮; 孙辉; 于利刚; 张耿民

来源：北京大学学报(自然科学版), 2007, (03): 412-416.

DOI：10.13209/j.0479-8023.2007.068

• 氮离子(N+)
• 溅射轰击
• 石墨
• 场发射阵列 N-ion
• bombardment
• graphite
• field emission array

研究了氮离子(N+)轰击对石墨薄膜场发射特性的影响。片层石墨被N+轰击成较整齐排列的锥尖阵列,尖端密度~108cm-2。XPS谱证实有许多N原子注入薄膜,膜内存在大量sp2杂化轨道键。场发射测试表明,经过N+轰击,整个薄膜在场发射的均匀一致性方面有较明显的改善,场发射电流密度从0.3增大到1.65 mA/cm2。

• 单位
  北京大学