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摘要
螺旋波等离子体源耦合效率高,能够产生高密度、大体积的等离子体。当外加射频源通过天线和等离子体耦合,在放电腔中将存在着多种波模式,而射频功率耦合机制直接影响耦合效率和能量沉积。对近年来在螺旋波等离子体源中存在的朗道阻尼、静电波、径向局域模式和电子俘获耦合机制进行了综述。低磁场下驻波在边界耦合的静电波起着重要作用,而高磁场下螺旋波在径向等离子体梯度形成的势阱中进行体功率耦合。永磁铁阵列螺旋波源在大面积、高速材料处理应用中可能会成为下一步发展的趋势。
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单位北京印刷学院
