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摘要
氮化铝镓（AlGaN）基深紫外发光二极管（LED）因其环保、尺寸小、寿命长、发光波长可调等优点，在空气和水的净化、生化检测、杀菌消毒、非视距通信等领域具有巨大的发展潜力以及应用市场。经过近二十多年的研究发展，AlGaN基深紫外LED的外量子效率（EQE）已得到了很大的提高。然而，目前的AlGaN基深紫外LED与已全面商业化的氮化物蓝光LED相比，其EQE仍旧处于较低水平。本综述首先介绍了AlGaN基深紫外LED的发展现状，并分析了导致EQE低的原因；然后再分别从载流子注入效率、载流子辐射复合效率和光提取效率（LEE）三个方面阐述了近年来AlGaN基深紫外LED在提高EQE方向上的研究进展；最后探讨了AlGaN基深紫外LED目前面临的挑战及其未来的发展机遇。
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