微透镜阵列的慢刀伺服加工表面粗糙度预测模型

作者：林泽钦; 陈新度^*; 颜志涛; 孙豪

来源：哈尔滨理工大学学报, 2020, 25(03): 83-87.

DOI：10.15938/j.jhust.2020.03.013

• 微透镜阵列
• 慢伺服加工
• 轨迹生成
• 振动
• 表面预测

建立了超精密加工微透镜阵列的表面形貌预测模型。基于切削参数、刀具几何参数、微透镜阵列的几何结构,分析了加工的轨迹规划;模型中考虑了刀具与工件之间三维方向相对振动的影响,仿真出加工的表面形貌和粗糙度。通过仿真模型的计算,分析了切削参数、透镜几何参数对微透镜阵列表面形貌及粗糙度的影响。

• 单位
  广东工业大学