一种基于卷积去噪自编码器的芯片表面缺陷检测方法

作者：罗月童; 卞景帅; 饶永明; 吴帅; 张蒙

来源：2019-01-28, 中国, CN201910078674.6.

本发明公开了一种基于卷积去噪自编码器的芯片表面缺陷检测方法,其步骤包括：1构建基于卷积去噪自编码器的无缺陷图像重构；2基于重叠区域的残差图构建；3基于残差图的缺陷检测。本发明能够有效检测出缺陷与背景对比度低、缺陷较小等特点的弱缺陷,具有很强的鲁棒性,提高了芯片表面检测的精度。

• 单位
  合肥工业大学