适用于极端环境的MEMS传感器研究进展

作者：张亮亮; 胡腾江^*; 李村; 赵玉龙

来源：无人系统技术, 2021, 4(05): 15-22.

DOI：10.19942/j.issn.2096-5915.2021.5.043

• MEMS传感器
• 极端环境
• 大量程高温高压传感器
• 高g值加速度传感器
• 高精度石英谐振加速度传感器

MEMS传感器的优势使其能够在高温、高压、高过载、高旋转、油气、腐蚀等极端环境中使用。分别介绍了适用于油气田深井环境监测的大量程MEMS高温高压传感器、适用于侵彻武器超高加速度测量的MEMS高g值加速度传感器和适用于微型惯性导航集成系统加速度测量的高精度石英谐振加速度传感器。详细论述了3种传感器的应用背景、设计思路和方案、结构优化设计、芯片加工与测试分析。最后对下一步的研究方向进行了展望,可以从芯片结构设计、加工工艺、温度补偿技术和传感器封装工艺等方面进一步提高传感器的性能参数和适用范围,为适用于极端环境的MEMS传感器的研究提供了参考。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室