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摘要
微流控芯片流道宽度处于微米尺度，存在特征辨识困难的问题。该文选取两种具有不同流道宽度和布局的典型微流控芯片，采用超声C扫描技术进行流道特征成像。利用标称中心频率15 MHz、10 MHz和5 MHz聚焦探头实施水浸C扫描检测，并分析中心频率、焦斑直径、扫描步进等关键参数对流道表征的影响。实验结果表明，对于流道宽度200μm的微流控芯片，当探头中心频率不低于10 MHz、扫描步进不超过0.1 mm时，成像分辨力和流道表征效果最佳，且流道中心间距测量误差不超过5%。同时，超声C扫描图像可以反映流道宽度变化，辨识发生堵塞的微流控芯片。
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