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摘要
降温时间、最低工作压力、抽速和抽气容量是低温泵的关键性能参数，本文设计并搭建了综合性能测试平台对200mm口径低温泵ICP200N进行了系统测量和分析。结果表明，ICP200N低温泵降温时间小于90min；无烘烤条件下最低工作压力可达10-7Pa量级，此时主要残留气体成分为H2O和H2。给出了低温泵在PVD实际应用中比较重要的30s恢复容量的测量方法，测得ICP200N低温泵氩气和氮气30s恢复容量分别为820L和590L。设计了一种简易流量校准装置提高了抽速测量精度，测试表明ICP200N低温泵氮气、氩气抽速与国际主流竞品低温泵相当。目前ICP200N低温泵已在国内半导体客户产线PVD装备上获得了批量应用。
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