科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为研究等离子体引发化学气相沉积（PECVD）实验中距离和功率对基底材料以及生成的二氧化钛（TiO2）纳米颗粒形貌结构的影响,通过自主研发的常压PECVD（AP-PECVD）设备,以钛酸丁酯为钛源,在锡/碳（Sn/C）纳米纤维表面沉积大量的TiO2纳米颗粒。通过扫描电镜和透射电镜观察了Sn/C/TiO2纳米纤维的形貌结构,采用X射线衍射仪研究了Sn/C/TiO2纳米纤维的晶形结构。结果表明:自主研发的设备沉积了大量的纳米颗粒;通过对功率和距离参数变化后沉积的Sn/C/TiO2纳米纤维测试发现,当功率为100W、距离为7mm时,沉积上的纳米颗粒直径在10～30nm之间,纳米纤维形貌保持良好,纤维内部结构基本没有被破坏;沉积上的TiO2纳米颗粒为非晶结构。
- 单位
