半导体生产过程的Run-to-Run控制技术综述

作者：王树青; 张学鹏; 陈良

来源：浙江大学学报(工学版), 2008, (08): 1393-1398+1457.

• Run-to-Run控制
• 间歇过程
• 半导体生产
• 统计过程控制 Run-to-Run control
• batch process
• semiconductor manufacturing
• statistical process control

Run-to-Run通过对历史批次过程数据的统计分析改变下一批次的制程方案(recipe),解决间歇过程尤其是半导体生产过程中在线测量手段缺乏造成实时过程控制难以实施的问题,从而降低批次间产品的品质差异.这一方法是统计过程控制和实时控制的折中,提供了一个提升产品质量、改善总体设备效能的框架.介绍了Run-to-Run控制的产生背景,阐述了Run-to-Run控制器的一般结构,重点介绍了3类主要的Run-to-Run控制算法,对各种Run-to-Run控制算法进行了评价,并介绍了它们在关键单元操作中的应用,最后探讨了未来的研究方向.

• 单位
  工业控制技术国家重点实验室