空域移相偏振点衍射波前检测技术

作者：郑东晖; 李金鹏; 陈磊; 朱文华; 韩志刚; 乌兰图雅; 郭仁慧

来源：Acta Physica Sinica, 2016, 65(11): 128-135.

• 测量
• 点衍射
• 偏振
• 空域移相

点衍射干涉仪结构简单、共光路、测量精度高,空域移相干涉仪抗振性能优越,两者在波前检测领域获得了广泛的应用.本文采用激光打孔技术,通过在金属纳米线栅偏振片上制备小孔,制作了偏振点衍射板;结合分光结构的空域移相技术,搭建了空域移相偏振点衍射干涉仪,并对一焦距为550 mm,F_#10的平行光管准直物镜透射波前进行测量,与法国Phasics公司生产的商业化波前传感器SID4的测量结果相比较,两者峰谷值相差0.09λ,均方根值相差0.012λ;利用35项Zernike多项式拟合两者的测量结果,将拟合得到的系数在同一坐标轴下绘制成两条曲线,两者基本重合,从而验证了所搭建的空域移相偏振点衍射波前检测装置的测试精度.从而在传统点衍射干涉仪的基础上引入了空域移相技术,实现了波前的高分辨率、高精度、实时检测,并且提高了对振动、气流等环境因素的抗干扰能力.

• 单位
  中国科学院; 南京理工大学