浅谈超光滑表面加工技术

作者:王广林; 马瑾
来源:山东工业技术, 2018, (12): 12.
DOI:10.16640/j.cnki.37-1222/t.2018.12.009

摘要

超光滑表面加工技术属于超精密加工技术领域的前沿课题,是一个国家科学技术发展水平的重要标志,因此受到各国的重视。文章阐述了现有超光滑表面加工的先概念,详细介绍了浮法抛光、等离子体辅助抛光、浴法抛光和流体抛光法等技术。