多弧离子镀的工艺参数对TiAlN膜层性能的影响

作者:陈扬枝; 万玉林; 吕月玲
来源:热加工工艺, 2019, 48(12): 103-107.
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.12.024

摘要

研究了直流偏压、脉冲偏压、占空比、弧电流和氮气流量对多弧离子镀制备TiAlN涂层结合力和硬度的影响。结果表明,影响TiAlN涂层结合力的因素按重要性排序依次为脉冲偏压、占空比、弧电流、氮气流量、直流偏压。影响TiAlN涂层显微硬度的因素按重要性排序依次为占空比、脉冲偏压、弧电流、氮气流量和直流偏压。

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