摘要
针对量子点场效应单光子探测器(QDFET)光吸收效率低下的问题,提出了一种新型量子点场效应增强型单光子探测器(QDFEE-SPD).QDFEE-SPD增加了共振腔的设计,并采用了GaAs/AlAs多层膜作为下反射镜;对QDFEE-SPD的光吸收增强效应和光响应度进行了理论分析和模拟,结果表明,与没有共振腔时相比,QDFEE-SPD的吸收效率和光相应度都有了大幅度的提升,同时为了光吸收的最优化,吸收层厚度一般应在0.1—0.5μm;对QDFEE-SPD的材料样品进行了生长和测试实验,反射谱测试和PL谱测试结果表明,QDFEE-SPD对入射光的吸收具有了明显的增强效应.文章成果为高效率量子点场效应...
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单位中国科学院半导体研究所; 中国人民解放军陆军工程大学; 半导体超晶格国家重点实验室