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摘要
飞秒脉冲激光器由于其在微、纳米尺度上图案制造精确的能力，在过去的几十年里得到了广泛的应用。对于高效材料加工，一个关键问题是确定在实验装置中使用的激光参数，而在已进行的系统研究中，主要是强调独立的单个参数的影响，很少关注辐照的固体基底材料的作用。因此，本研究强调了衬底对不同厚度薄膜的影响，结果表明，衬底的光学和热物理性质都对辐照薄膜上的热指纹有影响，在较小的薄膜尺寸下影响较大。选择了两种代表性材料硅和熔融硅作为不同光学和热物理形态薄膜(金和镍)的典型衬底，并对辐照的固体热响应和损伤阈值进行评估，为基于激光的制备装置和工艺的设计提供指导。
