多晶硅副产物四氯化硅的综合利用技术

作者：王跃林

来源：精细与专用化学品, 2009, (02): 22-24+2.

• polysilicon
• byproduct
• comprehensive utilization
• silicon tetrachloride
• fumed silica polysilicon
• byproduct
• comprehensive utilization
• silicon tetrachloride
• fumed silica

四氯化硅的用途有四个方面:一是氢化还原为三氯氢硅;二是合成气相二氧化硅;三是合成硅酸乙醇;四是提纯为光纤级四氯化硅。

• 单位
  广州吉必盛科技实业有限公司