高精度海洋温/盐/酸度集成微纳传感器制造与测试

作者：胡凯凯; 尹加文; 麦裕良; 栾安博; 郜晚蕾; 金庆辉^*

来源：传感器与微系统, 2021, 40(01): 74-77.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)01-0074-04

• 海洋温/盐/酸度
• 微纳传感器
• 微机电系统(MEMS)技术
• 批量制造
• 高精度网格化测量

面向"智慧海洋"应用需求,基于微机电系统(MEMS)技术设计制备了一批温度、盐度、酸度(pH值)三参数集成微纳传感器。温度测量采用铂电阻传感器,盐度测量采用4电极电导率传感器,pH测量采用钛/二氧化钛(Ti/TiO2)为工作电极和液接式Ag/AgCl参比电极构成的两电极体系。采用电化学工作站分别测量了三个传感器的基本参数和性能,其中温度传感器的电阻为(2240±5)Ω,灵敏度为8.636Ω/℃,测量精度达到±0.01℃;电导率传感器在0.01 mol/L KCl溶液中精度为±0.000 5 S/m; pH传感器灵敏度为42.86 mV/pH。由于采用微机电加工技术,传感器尺寸小、成本低、可批量制造,将为海洋环境参数的高精度网格化测量提供核心传感器。

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 宁波大学; 广东省石油化工研究院