本实用新型公开了一种利用盆架状定子驱动的精密压电平面运动装置,所述压电平面运动装置由定子组件,滑台组件,机座组件组成,其滑台组件连接定子组件并且构成两向运动的移动副,定子组件连接机座组件,滑台组件连接机座组件并且构成两向运动的滚-滑式运动副。本实用新型基于压电驱动方式推动滑台运行,使该滑台具有高精密运动特性,该平面运动装置采用多驱动足推动滑台,故能成倍增大平台的出力密度、运动速度并使其运行更趋稳定。
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